3月31日，在沈陽芯源微電子有限公司工藝調試車間，34歲的女軟件工程師康寧正與同事們全神貫注地調試2、4、6寸晶圓勻膠顯影設備。在兼容兩種尺寸的同類設備中，他們積累了豐富的經驗，但兼容三種尺寸還是頭一次遇到?？祵幷?小時調試好軟件程序，用3個多小時觀察設備運行，直到設備運行良好穩定。

康寧負責調試的勻膠顯影設備是為武漢一家上市企業研制的，在芯源公司研發的一系列高科技產品中，屬于中小型設備。沈陽芯源公司總經理宗潤福指著一個罩在藍色保護膜里面的“大家伙”告訴記者，這是一臺12寸的大型勻膠顯影設備，目前，國外只有兩個廠家能夠生產同類產品，要價高達500萬美元。為了啃這塊“硬骨頭”，沈陽芯源公司聘請世界頂級專家組成一流的研發團隊，經過一年多的攻關，這個國家重大科技專項工程產品即將取得實質性突破。而且產品問世后，售價只有400萬美元。

沈陽芯源公司成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發起創辦的國家重點高新技術企業，主要從事集成電路高端裝備的研發、制造、銷售與技術服務。集成電路高端裝備號稱行業的“印鈔機”，但長期以來一直由國外企業一統天下。由于國外設備造價高、服務費用高，使我國客戶不堪重負。沈陽芯源的技術攻關也就是在這樣的大背景下展開的。

沈陽芯源，這個僅有150多名員工的小型企業，卻成功打破了國外產品在中國市場的壟斷。他們依靠與市場互動的科技研發機制，在消化吸收國外先進技術基礎上，先后取得160多項技術專利，自主研制的主導產品勻膠顯影設備廣泛應用于LED、高端封裝等領域，勻膠顯影技術達到國際先進水平，成功替代了進口產品。沈陽芯源實現集成電路設備核心部件國產化，也搶占了我國集成電路高端裝備研發制造的制高點。他們研制的12寸噴涂設備一舉填補了國內空白，獲得2012年國家戰略性創新產品獎；其研發生產的LED產品占國內市場份額的40%，不僅改變了國外大公司壟斷中國市場的局面，而且憑借低成本、高性能的優勢銷往臺灣市場。

這樣的創新成果，來之不易！企業每年研發投入超過銷售額的15%。為了調動科技人員的積極性，沈陽芯源讓核心研發團隊成員擁有公司股權，工程師的收入普遍高于管理干部的收入，為科研人員發揮才能創造了良好條件。

依靠科技創新，沈陽芯源經濟效益連續3年保持50%以上的速度增長，成為中國集成電路高端裝備制造業的領跑者。 □本報記者/孫萬科