7月16日，遼寧省科技廳在沈陽科儀公司組織召開了“沈陽地區申報國家“十一五”IC裝備重大科技專項匯報會”。遼寧省科技廳副廳長劉曉東、高新處處長母保志、副處長臧寶嶺、沈陽市科技局局長宋錫坤、高新處處長周晶、渾南國家高新區管委會副主任林海波等各級政府相關領導及沈陽科儀公司、沈陽新松公司、沈陽芯源公司等沈陽地區IC裝備相關企業領導出席了會議。
    會上，劉曉東副廳長認真聽取了沈陽科儀公司副總裁張振厚代表幾家單位作的“關于前期籌備工作及目前進展情況的報告”以及各申報單位的項目匯報。劉副廳長對各企業前期所做的工作表示肯定，對幾家企業能夠心系國家、服務大局表示欽佩。他指出：從國家發展及經濟發展上看，IC裝備具有舉足輕重的作用，如果只靠引進則只能跟在發達國家后面，永遠也不可能超越。目前，國家有需要，而我們有基礎、有能力，更有義務、有責任去承擔項目，盡管有困難也要做。做為遼寧省的科技主管部門，有責任促進地方經濟發展的同時，為未來儲備人才、技術。IC裝備產業是非常有前景的產業，應該持之以恒發展下去。今后科技廳將重點關注IC裝備產業發展，企業與企業、企業與政府部門之間要加強信息溝通，共同努力作好國家重大專項的申報工作。     最后，劉副廳長一行參觀了沈陽科儀公司PECVD事業部、裝調大廳以及真空泵/閥門等產品研發現場，并給予了很高評價。