匯報現場

設備測試驗收現場

　　9月26日至9月28日，02專項辦公室、科技部重大專項辦公室的領導和專家對中國科學院沈陽自動化研究所持股公司——沈陽芯源微電子設備有限公司牽頭研發的項目《凸點封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化》進行了正式驗收。其中，沈陽自動化所承擔的子課題《設備模塊控制器開發與系統參數分析及模塊國產化》經查閱資料、現場匯報和現場測試等也順利通過了課題驗收。 

　　沈陽自動化所承擔的研究內容主要包括：分布式PMC工藝單元工藝模塊控制系統軟件及控制器開發，設備各工藝單元運動系統的技術參數檢測與分析，離心與熱處理單元腔體氣流與熱場研究和對光學曝光去除晶片邊緣光刻膠模塊（OEBR）進行國產化制造。子課題的實施縮短了項目總體研發設備的開發周期，加快了國產化進程，對工藝和裝配起到了指導作用。（裝備制造技術研究室）