6月12日，沈陽分院以“引領真空技術，支撐科技創新，促進泛半導體產業發展”為主題，舉辦第九期“中國科學院沈陽分院科技成果云講堂”，為遼魯兩省集成電路產業發展提供科技支撐。

　　本期云講堂特邀到中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司佟雷、孔祥玲兩位研究員，他們圍繞“真空科研儀器設備簡介”和“面向半導體領域的真空干泵產品的研發和產業化”做了專題講座，共有163個異地會場組織收看了現場直播。

　　集成電路產業是遼寧、山東兩省重要的戰略性新興產業，沈陽分院結合自身科技優勢，推進產學研協同創新，推動科技成果與遼魯兩省集成電路產業鏈深度融合，提升高精尖產品的本地配套能力，促進遼魯兩省制造業水平整體增強。本期云講堂發布的真空技術領域科技成果，是集成電路產業重要的配套技術，為遼魯兩省打造集成電路戰略性新興產業集群提供了科技支撐。

佟雷作報告

孔祥玲作報告