遼寧省發展和改革委員會于2008年6月16日，在沈陽市主持召開了“IC成膜PECVD設備研發和產業化”項目驗收會。該項目是由中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司承擔的國家高技術產業化示范工程項目。驗收委員會認真聽取、審閱了項目驗收報告及相關資料，并對建設現場進行了考察，經質詢和討論，一致同意該項目通過驗收。

    驗收意見中指出：沈陽科儀公司完成了國家發展改革委復函中所確定的建設內容。在6英寸PECVD設備控制系統軟硬件設計和零部件國產化方面實現了突破，零部件國產化率達到70%以上，整機性能達到或超過國際同類產品水平。產品填補了國內空白，實現了替代進口。

    會議主持人遼寧省發改委高技術處副處長王幼學表示，沈陽科儀公司已承擔多項國家發改委IC裝備相關項目，完成的非常好，均已順利通過驗收。通過項目實施，充分展現了沈陽科儀公司經營、管理的嚴謹與規范，也可以看出公司的綜合實力和美好的發展前景。目前，沈陽市渾南新區正在建設IC裝備制造產業基地，沈陽科儀公司是其中的骨干企業，希望公司加快發展，為遼沈地區IC裝備產業發展作出更大貢獻。（沈陽科儀公司供稿）