2008年8月20日下午，國家科技部副部長曹健林、科技部高新司副司長戴國強一行在遼寧省政府副秘書長馬祥圖、省科技廳廳長趙明鵬、省科技廳副廳長劉曉東、沈陽市副市長鄒大挺以及沈陽市科技局、沈陽市高新區、中科院沈陽分院領導的陪同下，蒞臨沈陽科儀，出席遼寧IC裝備研發及產業發展匯報會。沈陽科儀、沈陽自動化所等八家單位代表參會。
    會議由省科技廳廳長趙明鵬主持，省科技廳副廳長劉曉東對遼寧省IC裝備發展現狀、加速推進IC裝備產業發展的措施、遼寧發展IC裝備的條件與優勢、遼寧IC裝備未來發展與設想等方面向曹副部長進行了匯報，在感謝科技部領導對遼寧IC裝備產業發展給與重視的同時，希望得到科技部領導的繼續關注和支持。
    隨后，曹健林副部長聽取了沈陽市副市長鄒大挺關于沈陽市IC裝備進展情況和人才隊伍建設情況的匯報。鄒副市長表示，近年來，沈陽市IC裝備產業已經初步形成了集研發設計、生產加工于一身的行業體系，未來的規劃將緊跟國家步伐，與上海、北京等地協同發展，圍繞著國家重大專項的實施和新興產業的建設，走特色、優勢之路。
    遼寧省政府副秘書長馬祥圖、中科院沈陽分院副院長馬思也相繼代表遼寧省政府和沈陽分院發表講話，感謝科技部領導對遼寧省、沈陽市IC裝備產業發展的關注和支持，并表示將盡最大的努力做好配套支撐。曹健林副部長在總結講話中首先充分肯定了遼寧省近年來IC裝備產業取得的成績，并對遼寧省IC裝備產業發展提出了建議：第一，要做好關鍵技術攻關，下決心將關鍵技術本土化，像沈陽科儀PECVD這樣促進零部件本土化的項目，以后要加大力度支持；第二，要形成有效的競爭機制，發動全國同行業具有優勢的單位共同攻克難題，協同發展；第三，要將我們的成果不斷地打入市場并盡快投入使用，促進國產化，給國人以信心；做好企業的聯合與合作，是促進產業發展的唯一出路。
    針對沈陽地區發展 IC裝備產業，曹副部長也提出了幾點希望：首先，要定位準確，扎扎實實地做適合自身發展的設備，走適合自己的路；其次，要在物質和精神上都做好長期作戰準備，經受住來自時間、環境的各方面考驗；再次，要充分揚長避短，發揮自身的長項優勢。此外，曹副部長也對地方政府提出了十分中肯的建議：要做好調研，知己知彼方能百戰不殆；要引進優秀的外來企業，促進本地企業的發展，同時加強海外優秀人才的引進；在資金方面，要競爭與“后補助”相結合，這是對企業最合適也是最負責任的做法；省市政府要做好相應的配套支撐。講話的最后，曹副部長表示，沈陽是我國IC裝備行業的重要力量，經過幾年的努力，做到了國家經濟建設與科技力量發展的良好結合，科技部將為推動遼沈地區IC裝備產業發展盡一份微薄之力，并期待共享收獲的喜悅。
    曹健林副部長針對遼沈地區自身特點提出了務實可行的意見和建議，對遼沈地區IC裝備產業的發展，具有重要的指導意義。（沈陽科儀公司供稿）