10月21日，上海證券交易所科創板上市委員會召開了2019年第35次審議會議，根據審議結果顯示，中國科學院沈陽自動化研究所投資參股企業——沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源公司”）首發獲通過，是中國科學院第一家科創板首發獲通過的公司。這意味著在不久的將來沈陽自動化所又一家投資參股企業將成為上市企業。

　　芯源公司成立于2002年，在17年的發展歷程中，秉承“市場引領，技術為本”的宗旨，不斷在半導體裝備領域探索新的高度。目前，芯源公司擁有自主知識產權，取得300余項核心技術專利，其自主開發的單片勻膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、清洗機等設備，廣泛應用于半導體、先進封裝、MEMS、LED等領域。研制的12英寸TRACK系統整機，已經在12寸主流生產線應用，擁有近百家業內客戶，在LED勻膠顯影設備領域占領國內市場份額超過60%。（科技處）