期刊封面展現采用微滴DEP裝配技術在納米線拉伸特殊微動機構芯片上進行Cu納米線裝配的過程 

　　我國自然科學領域重要權威學術期刊《科學通報》，在時隔9個月之后，再一次在最新一期以封面專題的形式(Vol. 59 (7): 623-629, 2014)報道了中國科學院沈陽自動化研究所微納米課題組在超高懸空微動電極上裝配納米線的科研成果。這是繼多次在國際期刊Applied Physics Letters、Acta Physico-Chimica Sinica，國內期刊《科學通報》、《中國科學》封面刊載之后，沈陽自動化所科研成果再次獲得自然科學領域權威刊物封面刊載，再次表明沈陽自動化所的創新能力與研究實力得到科學界同仁的肯定與重視。 

　　納米線拉伸特殊微動機構芯片是一類通過MEMS工藝設計和制造的微電極拉伸測試機構，可以通過熱驅動機構或電驅動機構加載作用力于拉伸電極上，該電極具有超高、懸空和微動的特點。將納米線裝配于該電極上，可以進行單納米線拉伸動態特性及原子鏈拉伸制造的研究，研究其在拉伸狀態下的動態特性變化及單原子鏈狀態下的特殊性質以向原子器件制造方向發展，是目前納米科學的前沿研究課題之一，但目前沒有一套有效的方案來實現將單根納米線置于可拉伸的微動機構上以進行拉伸。 

　　介電泳（DEP）方法是一種簡單快速有效并且可以規?；淖韵露涎b配納米器件的技術。微納米課題組在傳統的介電泳技術的基礎上，開發了一種微滴DEP裝配技術與實驗系統，并借助理論分析與仿真，成功實現了納米線在拉伸特殊微動機構芯片上的裝配，為最終實現納米線的拉伸及原子鏈拉伸制造研究邁出最關鍵的一步，并且大大拓展了介電泳技術的應用范圍。這些技術難點的突破和研究成果的報道都體現了沈陽自動化所微納米課題組在微納米器件的裝配與制造領域的研究實力。 

　　《科學通報》封面圖片展現的是采用微滴DEP裝配技術在納米線拉伸特殊微動機構芯片上進行Cu納米線裝配的過程。通過可控的微滴釋放技術、精確的定位技術、電極表面處理等一系列技術，實現了單根Cu納米線在超高懸空微動電極上的裝配。（機器人學研究室）